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洁净室工程施工需结合实际情况综合考量后,再遵守相关的标准、规范,按具体详细的施工图纸制定施工计划,整个净化工程施工流程循序渐进地有效执行下去,以确保洁净车间建设质量能符合要求,集成电路净化车间维护,达到预期的效果。
洁净室工程施工流程:放线测量→洁净室工程地面凿平处理→通风管道安装→洁净室工程围护结构安装→洁净室工程天花安装→洁净室工程PVC地板施工→仪器设备安装→通风设备及风口安装→设备调试→全系统测试










洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。
单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。
非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越显著,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,多晶硅净化车间维护,是主要关注的气流测试项目。


十万级高洁净车间:指洁净级别,微生物净化车间维护,可以理解为无尘室,但是无尘室也是需要换气的,换进去的空气需要经过净化室净化,平原净化车间维护,再送到无尘室。
100000(10万)级要求每小时换气15-19次,完全换气后空气净化时间不超过40分钟。
10000(1万)级别要求每小时换气23-28次,完全换气后空气净化时间不超过30分钟。
1000(1千)级别要求每小时换气43-55次,完全换气后空气净化时间不超过20分钟。



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