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由于技术原因和制造工序的复杂程度高,集成电路制造是对洁净度整体要求高的行业。集成电路由于技术的复杂程度与日俱增,对于空气洁净度的要求也越来越高,重要工艺区需保持1-4级的洁净度。而其他大部分行业比如食品制造,药品,医学等行业对洁净度的要求大多在5-9级,远低于集成电路和新型显示对洁净度的要求。随着技术的进步,集成电路对洁净度的要求越来越高。









洁净系统方案:系统流程:新风经过滤后与回风混合,进入风冷空调机,助力电池净化车间维护,通过中效过滤器,经末端低阻力高效过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入洁净室。气流组织:1万级间全部采用上送两侧回风,车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道,接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。新风系统进行组、中、二级过滤,以确保空气的含尘浓度较低,助力电池净化车间设计,减少外部尘源影响,提高洁净室的净化效果,并大大延长高效过滤器的使用寿命,助力电池净化车间价格,减少运行维护费用。新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量>35m3/h),并保证洁净室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)。系统排风:有设备排风及工艺要求的房间排风,此系统由甲方确定方案。

净化方案一:组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口:这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,助力电池净化车间,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。净化方案二:水冷柜机+增压风柜+高效送风口:与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。


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